½ºÆÄÅÍ Å¸°ÔÆ® Sputter Targets

ÅÂÀο¡¼­´Â ¼ø±Ý¼Ó, ÇÕ±Ý, »êÈ­¹°, ÁúÈ­¹°, źȭ¹°, ÃÊÀüµµ »êÈ­¹° µî ´Ù¾çÇÑ Àç·áÀÇ ½ºÆÄÅÍ Å¸°ÔÆ®¸¦ Á¦Á¶Çϰųª ¼öÀÔÇÏ¿© ½ÇÇè¿ë ¹× ¾ç»ê¿ëÀ¸·Î °ø±ÞÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù.   Ç¥ÁØ Å¸°ÔÆ® Å©±â´Â µÎ²²  1/8", 1/4 " ¹× 1/2", Á÷°æ 1",  2",  3",  4", 5" ¹× 6"ÀÎ ¿øÆÇ(Disk) ÇüÅ·Π°ø±ÞÇÏ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. °í°´ »ç¾çÀ¸·Î´Â 600 mm x 150 mm µî ±îÁö Å©±â ¹× Çü»ó¿¡ Á¦ÇÑ ¾øÀÌ °ø±Þ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.  ¹«±â¹° Ÿ°ÔÆ®´Â ¿­Àüµµµµ°¡ ÀϹÝÀûÀ¸·Î ³·°í ¿­Ãæ°ÝÀ¸·Î ±úÁö´Â °æ¿ì°¡ ÀÖÀ½À¸·Î Cu Backing Plate¸¦ ºÙ¿© »ç¿ëÇÔÀÌ ÁÁ½À´Ï´Ù.

ÇöÀç °ø±Þ ÁßÀÎ ¾Æ·¡ Ç°¸ñ ¸®½ºÆ®¸¦ º¸½Ã°í °ßÀûÀÇ·Ú µî ±Ã±ÝÇÑ »çÇ×À»  ¹®ÀÇ ÇϽñ⠹ٶø´Ï´Ù.

»¡¸® ã¾Æ °¡±â  A-B, C-I, J-N, O-T, U-Z

Name

Formula

Purity

Application

Comments

 Aluminum & Compounds

 

 

 

 

 Aluminum

Al

 99.99, 99.999

 

 

 Aluminum-Copper

Al-Cu(1 w/o)

99.999

 

 

 Aluminum-Silicon

Al-Si(1 w/o)

99.999

 

 

 Aluminum-Silicon-Copper

Al-Si(1w/o)-Cu(1w/o)

99.999

 

 

 Aluminum Nitride

AlN

99.98

 

 

 Aluminum Oxide

Al2O3

 99.99

 

 

 Antimony & Compounds

 

 

 

 

 Antimony

 Sb

 99.999

 

 

 Antimony Selenide

Sb2Se3

 99.999

 

 

 Antimony Telluride

Sb2Te3

 99.999

 

 

 Barium & Compounds

 

 

 

 

 Barium

Ba

 99.5

 

 

 Barium Ferrite

BaFe12O19

 99.5

 

 

 Barium Fluoride

 BaF2

99.9

 

 

 Barium Oxide

 BaO

 99.9

 

 

 Barum Strontium Titanate

 (BaxSry)TiO3

 

 

 

 Barium Titanate

 BaTiO3

 99.9

 

 

 Barium Ca/Cu Oxide

(Ba, Ca,Cu)O

 

 

 

 Beryllium

 

 

 

 

 Beryllium

Be

 99.9

 

 

 Bismuth & Compounds

 

 

 

 

 Bismuth

Bi

 99.999

 

 

 Bismuth Oxide

Bi2O3

 99.99

 

 

 Bismuth Selenide

 Bi2Se3

 99.99

 

 

 Bi/Sr/Ca/Cu Oxide

(Bi Sr Ca Cu)O3

 

 

 

 Bismuth Telluride

Bi2Te3

 99.99

 

 

 Bi/Pb/Sr/Ca/Cu oxide

 

 

 

 

 Bimuth Titanate

Bi2Ti4O12

 99.99

 

 

 Boron & Compounds

 

 

 

 

 Boron

 B

 99.9

 

 

 Boron Carbide

 B4C

99.5

 

 

 Boron Nitride

 BN

 99.5 - 99.9

 

 

 Cadmium  & Compounds

 

 

 

 

 Cadmium

 Cd

 99.999

 

 

 Cadmium Selenide

 CdSe

 99.999

 

 

 Cadmium Sulfide

 CdS

 99.99

 

 

 Cadmium Telluride

 CdTe

 99.999

 

 

 Calcium & Compounds

 

 

 

 

 Calcium

Ca

99.5

 

 

 Calcium Fluoride

CaF3

99.95

 

 

 Calcium Oxide

CaO

99.9

 

 

 Carbon

 

 

 

 

 Graphite

 C

 99.999

 

 

 Graphite(Pyro)

 C

 99.999

 

 

 Cerium & Compounds

 

 

 

 

 Cerium

 Ce

 99.9

 

 

 Cerium Fluoride

 CeF3

 99.9

 

 

 Cerium Oxide

 CeO2

 99.9

 

 

 Chromium & Compounds

 

 

 

 

 Chromium

 Cr

 99.95, 99.99

 

 

 Chromium Carbide

CrC

99.95

 

 

 Chromium Oxide

Cr2O3

 99.8

 

 

 Chromium Silicide

Cr3Si

99.5

 

 

 Chromium Silicide

 CrSi2

 99.5

 

 

 Cobalt

 

 

 

 

 Cobalt

 Co

 99.95, 99.995

 

 

 Copper & Compounds

 

 

 

 

 Copper

 Cu

 99.995, 99.999, 99.9999

 

 

 Copper Oxide

 CuO

 99.9

 

 

 Dysprosium

 

 

 

 

 Dysprosium

 Dy

 99.9

 

 

 Erbium & Compounds

 

 

 

 

 Erbium

 Er

 99.9

 

 

 Erbium Ba/Cu Oxide

 

 

 

 

 Europium

 

 

 

 

 Europium

 Eu

 99.9

 

 

 Gadolinium

 

 

 

 

 Gadolinium

 Gd

 99.9

 

 

 Germanium

 

 

 

 

 Germanium

 Ge

 99.999

 

 

 Gold

 

 

 

 

 Gold

 Au

 99.99

 

 

 Hafnium & Compounds

 

 

 

 

 Hafnium

 Hf

 99.9

 

 

 Hafnium Carbide

 HfC

 99.5

 

 

 Hafnium Nitride

 HfN

 99.5

 

 

 Hafnium Oxide

HfO2

99.5

 

 

 Holmium

 

 

 

 

 Holmium

 Ho

99.9

 

 

 Indium & Compounds

 

 

 

 

 Indium

 In

 99.99, 99.999

 

 

 Indium Oxide

 In2O3

 99.99

 

 

 Indium Tin Oxide

 (In2O3 )0.9(SnO2)0.1

 99.99

 

 

 Iridium

 

 

 

 

 Iridium

 Ir

 99.8

 

 

 Iron & Compounds

 

 

 

 

 Iron

 Fe

 99.9

 

 

 Iron Oxide

 Fe2O3

 99.9

 

 

 Lanthanum & Compounds

 

 

 

 

 Lanthunum

 La

99.9

 

 

 Lanthanum Aluminate

 

 

 

 

 Lanthanum Hexaboride

 LaB6

 99.5

 

 

 Lanthunum Oxide

La2O3

 99.9

 

 

 Lead & Compounds

 

 

 

 

 Lead

 Pb

 99.99, 99.999

 

 

 Lead Oxide

 PbO

 99.9

 

 

 Lead Telluride

 

 

 

 

 Lead Titanate

 PbTiO3

 99.99

 

 

 Lead Zirconate

 PbZrO3

 99.7

 

 

 Lead Zirconium Titanate

 Pb(Zr,Ti)O3

 99.7

 

 

 Lithium Compounds

 

 

 

 

 Lithunium Niobate

 LiNbO3

 99.9

 

 

 Lithium Phosphate

Li3 PO4

 99.5

 

 

 Magnesium & Compounds

 

 

 

 

 Magnesium

 Mg

 99.95

 

 

 Magnesium Fluoride

 MgF2

 99.9

 

 

 Magnesium Oxide

 MgO

 99.95

 

 

 Manganese & Compounds

 

 

 

 

 Manganese

 Mn

 99.95

 

 

 Manganese Oxide

 MnO2

 99.9

 

 

 Molybdenum & Compounds

 

 

 

 

 Molybdenum

Mo

 99.95

 

 

 Molybdenum Carbide

 Mo2C

 99.5

 

 

 Molybdenum Silicide

 MoSi2

 99.5

 

 

 Molybdenum Oxide

 MoO3

 99.99

 

 

 Molybdenum Selenide

 MoSe2

 99.9

 

 

 Molybdenum Sulfide

MoS2

 99.9

 

 

 Neodymium & Compounds

 

 

 

 

 Neodymium

 Nd

 99.9

 

 

 Neodymium Gallate

 

 

 

 

 Nickel & Compounds

 

 

 

 

 NIckel

Ni

 99.9, 99.99, 99.995

 

 

 Nickel Chromium

 Ni0.80Cr0.20

 99.5

 

 

 Nickel Chromium

 Ni0.81Cr0.19

 99.5

 

 

 Nickel Iron

NiFe

99.5

 

 

 Nickel Oxide

 NiO

 99.98

 

 

 Nickel Vanadium

 Ni0.93V0.07

 99.95

 

 

 Niobium & Compounds

 

 

 

 

 Niobium

 Nb

 99.95

 

 

 Niobium Carbide

 NbC

 99.5

 

 

 Niobium Nitride

 NbN

 99.5

 

 

 Niobium Oxide

 Nb2O5

 99.95

 

 

 Niobium Selenide

 NbSe2

 99.8

 

 

 Niobium Silicide

 NbSi2

 99.8

 

 

 Niobium/Tin

 NbSn

 99.9

 

 

 Palladium

 

 

 

 

 Palladium

 Pd

 99.95

 

 

 Permalloy

 

 

 

 

 Permalloy

 

 

 

 

 Platinum

 

 

 

 

 Platinum

 Pt

 99.99

 

 

 Praseodymium

 

 

 

 

 Praseodymium

 Pr

 99.9

 

 

 Rhenium

 

 

 

 

 Rhenium

 Re

 99.9

 

 

 Rhodium

 

 

 

 

 Rhodium

 Rh

 99.8

 

 

 Rubidium

 

 

 

 

 Rubidium

 Rb

 99.8

 

 

 Ruthenium

 

 

 

 

 Ruthenium

 Ru

 99.95

 

 

 Samarium & Compounds

 

 

 

 

 Samarium

 Sm

 99.9

 

 

 Samarium Oxide

 Sm2O3

 99.9

 

 

 Selenium

 

 

 

 

 Selenium

 Se

 99.999

 

 

 Silicon & Compounds

 

 

 

 

 Silicon

 Si

 99.999, 99.9999

 

 

 Silicon n-doped

 n-Si

 99.999, 99.9999

 

 

 Silicon p-doped

 p-Si

99.999, 99.9999

 

 

 Silicon Carbide

 SiC

 99.5

 

 

 Silicon Dioxide

 SiO2

 99.995

 

 

 Silicon Monoxide

 SiO

 99.99

 

 

 Silicon Nitride

 Si3N4

 99.9

 

 

 Silver & Compound

 

 

 

 

 Silver

Ag

 99.99

 

 

 Silver-Palladium

 Ag-Pd(10w/o)

99.99

 

 

 Strontium & Compounds

 

 

 

 

 Strontium

 Sr

 99.5

 

 

 Strontium Oxide

 SrO

 99.9

 

 

 Strontium Titanate

 SrTiO3

 99.9

 

 

 Tantalum & compounds

 

 

 

 

 Tantalum

 Ta

 99.95, 99.99

 

 

 Tantalum Carbide

 TaC

 99.5

 

 

 Tantalum Nitride

 TaN

 99.5

 

 

 Tantalum Oxide

 Ta2O5

 99.99

 

 

 Tantalum Selenide

 TaSe2

 99.8

 

 

 Tantalum Silicide

 TaSi2

 99.5

 

 

 Tantalum Silicide

 Ta5Si3

 99.5

 

 

 Tellurium

 

 

 

 

 Tellurium

 Te

99.999

 

 

 Terbium

 

 

 

 

 Terbium

 Tb

 99.9

 

 

 Thallium

 

 

 

 

 Thallium

 Tl

 99.9

 

 

 Thulium

 

 

 

 

 Thulium

 Tm

 99.9

 

 

 Tin & Compound

 

 

 

 

 Tin

 Sn

 99.999

 

 

 Tin Oxide

 SnO2

 99.7

 

 

 Titanium & Compounds

 

 

 

 

 Titanium

 Ti

 99.9, 99.97, 99.995

 

 

 Titanium Boride

 TiB

 99.5

 

 

 Titanium Carbide

 TiC

 99.5

 

 

 Titanium Dioxide

 TiO2

 99.9

 

 

 Titanium Disilicide

 TiSi2

 99.5

 

 

 Titanium Monoxide

 TiO

 99.9

 

 

 Titanium Nitride

 TiN

 99.5

 

 

 Tungsten & Compounds

 

 

 

 

 Tungsten

 W

 99.95

 

 

 Tungsten Carbide

 WC

 99.5

 

 

 Tungsten Oxide

 WO3

 99.9

 

 

 Tungsten Disilicide

 WSi2

 99.95

 

 

 Tungsten Disulfide

 WS2

 99.8

 

 

 Tungsten Telluride

WTe2

 99.8

 

 

 Tungsten-Titanium

 W-Ti(10w/o)

 99.995

 

 

 Vanadium & Compounds

 

 

 

 

 Vanadium

 V

 99.5 - 99.7

 

 

 Vanadium Carbide

 VC

 99.5

 

 

 Vanadium Nitride

 VN

 99.5

 

 

 Vandium Oxide

 V2O5

 99.5

 

 

 Vanadium Silicide

 VSi2

 99.95

 

 

 Ytterbium & Compounds

 

 

 

 

 Ytterbium

 Yb

 99.9

 

 

 Ytterbium Oxide

 Yb2O3

 99.9

 

 

 Yttrium & Compounds

 

 

 

 

 Yttrium

 Y

 99.9

 

 

 Yttrium BaCu Oxide

YBaCuO(YBCO)

 99.9, 99.999

 

 

 Yttrium Oxide

 Y2O3

 99.9

 

 

 Zinc & Compounds

 

 

 

 

 Zinc

 Zn

99.99, 99.995

 

 

 Zinc Oxide

 ZnO

 99.99, 99.999

 

 

 Zinc Oxide(Alumina doped)

 ZnO0.98(Al2O3)0.02

 99.999

 

 

 Zinc Selenide

 ZnSe

 99.9 - 99.99

 

 

 Zinc Sulfide

 ZnS

 99.99

 

 

 Zinc Telluride

 ZnTe

 99.999

 

 

 Zirconium & Compounds

 

 

 

 

 Zirconium

 Zr

 99.7

 

 

 Zirconium Carbide

 ZrC

 99.5

 

 

 Zircnium Nitride

 ZrN

 99.5

 

 

 Zirconium Oxide

 YSZ

 99.9

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

¸Ç À§·Î

 TeIn  ÅÂ ÀÎ ÷» ìÙ
°æ±âµµ ¾È¾ç½Ã µ¿¾È±¸ °ü¾çµ¿ 799¹øÁö ¾È¾ç¸Þ°¡¹ë¸® 412È£
Ph. (031) 420-4323, 4324   Fax. (031) 420-4325

Homepage:  http//www.etein.com